實驗操作影像
形貌之相移干涉量測
設備組成
實驗套件規格資訊
| 組件 | 規格說明 |
|---|---|
| 干涉儀 | 相移干涉儀 |
| 光源 | DPSS雷射（532 nm） |
| 相移方式 | 步進馬達驅動薄平行平板玻璃旋轉（精度0.1°） |
| 影像擷取 | 高速CMOS相機（240 fps） |
| 量測目標 | 傾斜反射鏡面形（傾角0.1°~5°） |
規格內容依現有資料呈現，單位與條件尚待技術窗口校對；此處不代表量測精度或性能保證。
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